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| RF MEMS器件的研究及其应用前景 | |
| 引用本文： | 缪昱,武国英.RF MEMS器件的研究及其应用前景[J].电子产品世界,2003(9):37-40. |
| 作者姓名： | 缪昱 武国英 |
| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院 |
| 摘 要： | 本文对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其在射频收发模块中的应用进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势。 |
| 关 键 词： | RF MEMS 微机械器件 |
| 修稿时间： | 2003年3月25日 |
A View on RF MEMS |
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| Abstract: | |
| Keywords: | RFMEMS |
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