| 摘 要： | 基于YBa_(2)Cu_(3)O_(7)-δ(YBCO)台阶边沿型约瑟夫森结(台阶结)的高温超导量子干涉器(Superconducting Quantum Interference Device,简称SQUID)在微弱磁场测量等领域具有重要应用价值.制备YBCO台阶结及SQUID的常用单晶衬底包括LaAlO_(3)(LAO)、SrTiO_(3)(STO)及MgO等.(La_(0.3),Sr_(0.7))(Al_(0.65),Ta_(0.3)5)O_(3)(LSAT)没有孪晶现象、与YBCO的晶格失配度很小(仅为0.4%),有潜力成为制备YBCO台阶结及相应的高温超导SQUID器件的新的衬底选择.本文首次探索研究了LSAT衬底上YBCO台阶结型射频超导量子干涉器(rf SQUID)的制备和表征.采用氩离子束刻蚀技术在LSAT(100)衬底上制备角度约为46°的台阶,利用脉冲激光沉积法在衬底上生长YBCO超导薄膜,然后利用传统紫外光刻技术制备出高温超导rf SQUID器件.在温度为77 K时,器件测试观察到幅度较大的电压-磁通特性曲线,且在部分器件的特性曲线中观察到接近方波的非传统波形,表明器件工作于噪声较低的色散模式下.频率1 kHz时器件的磁通噪声约为20μΦ0/Hz1/2,与文献中报道的LAO、STO衬底上台阶结型SQUID器件的典型结果相当.本工作展示了利用LSAT衬底制备低噪声台阶结型rf SQUID器件的可行性,并为进一步研制该衬底上更高性能的高温超导SQUID器件奠定了基础.
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