| 耦合式MEMS微波功率传感器集总参数模型的优化 |
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| 引用本文： | 左文,张聪淳,谢嘉诚,王德波.耦合式MEMS微波功率传感器集总参数模型的优化[J].微电子学,2021,51(2):230-234. |
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| 作者姓名： | 左文 张聪淳 谢嘉诚 王德波 |
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| 作者单位： | 南京邮电大学 电子与光学工程学院、微电子学院, 南京 210023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金青年基金资助项目(61704086)；中国博士后科学基金资助项目(2017M621692)；江苏省博士后基金资助项目(1701131B)；南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039) |
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| 摘 要： | 耦合式MEMS微波功率传感器的集总参数模型可用于分析并计算器件的微波特性,是设计传感器相关结构尺寸的重要参考依据。针对目前传感器日益复杂化的阻抗匹配结构,对现有的集总参数模型进行了优化,并进行了相关理论推导。实验结果表明,优化后的模型计算出的反射系数最大误差为6.0 dB,插入损耗最大误差为0.7 dB,模型准确度相较于优化前有了明显的提升。因此,优化的集总参数模型对耦合式MEMS微波功率传感器的设计与优化具有一定的应用价值与参考意义。
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| 关 键 词： | MEMS 微波功率传感器 集总参数模型 优化 |
| 收稿时间： | 2020/5/6 0:00:00 |
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