表面改性后的SiO2薄膜光学性能研究

用溶胶-凝胶法在酸碱复合催化条件下制备了Si O2溶胶,采用浸渍提拉法在K9玻璃上制备了性能稳定的Si O2薄膜,并用三甲基氯硅烷对Si O2薄膜进行了表面改性。用反射式椭圆偏振光谱仪测试薄膜的椭偏参数,并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合,获得了Si O2改性前后在300~700 nm波段的色散关系。讨论了薄膜改性与光学性能间的关系。结果表明:Cauchy模型能较好的描述溶胶-凝胶薄膜在300~650 nm波段的光学性能;表面改性后Si O2薄膜光学常数发生改变,但未影响色散关系的变化趋势;薄膜改性后具有随着膜层数的增加,折射率增加,而最大峰值透光率、孔隙率减小的规律,且薄膜改性后表面更加致密。