| TiO2薄膜的相结构调控与表征 |
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| 引用本文： | 李祥,姚婷婷,江亦潇,陈春林,马秀良,叶恒强.TiO2薄膜的相结构调控与表征[J].电子显微学报,2022,41(2):111-116. |
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| 作者姓名： | 李祥 姚婷婷 江亦潇 陈春林 马秀良 叶恒强 |
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| 作者单位： | 中国科学院金属研究所 沈阳材料科学国家研究中心,辽宁 沈阳110016;中国科学技术大学材料科学与工程学院,辽宁 沈阳110016,中国科学院金属研究所 沈阳材料科学国家研究中心,辽宁 沈阳110016;季华实验室,广东 佛山528200,中国科学院金属研究所 沈阳材料科学国家研究中心,辽宁 沈阳110016,季华实验室,广东 佛山528200 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;广东省基础与应用基础研究重大项目;中国科学院前沿科学重点研究计划项目;季华实验室项目 |
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| 摘 要： | 本文利用脉冲激光沉积技术在LaAlO3(001)衬底上生长了单晶锐钛矿和双相TiO2薄膜,并利用X射线衍射和透射电子显微术对薄膜的显微结构进行了系统表征.单晶锐钛矿薄膜在LaAlO3(001)衬底上实现了外延生长,双相TiO2薄膜以单晶锐钛矿TiO2为基体,在其中夹杂着金红石TiO2颗粒.TiO2薄膜的相结构可通过调整...
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| 关 键 词： | TiO2 单晶薄膜 双相薄膜 莫尔条纹 脉冲激光沉积 |
Phase structure regulation and characterization of TiO2 thin films |
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| LI Xiang,YAO Ting-ting,JIANG Yi-xiao,CHEN Chun-lin,MA Xiu-liang,YE Heng-qiang.Phase structure regulation and characterization of TiO2 thin films[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,2022,41(2):111-116. |
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| Authors: | LI Xiang YAO Ting-ting JIANG Yi-xiao CHEN Chun-lin MA Xiu-liang YE Heng-qiang |
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