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具有1kHz脉冲重复率的深紫外单板印刷激光器
作者姓名:文力
摘    要:具有1kHz脉冲重复率的深紫外单板印刷激光器德国LambdaPhysik公司已研制出输出功率为30W的KrF小型准分子激光器。它可以1kHz脉冲重复率稳定工作。该公司的管理合伙人BirkBagting在美国加州举行的SPIE微型平板印刷术会议上介绍了...

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