首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部学科
医药、卫生
生物科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
农业科学
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
历史、地理
语言、文字
文学
艺术
文化、科学、教育、体育
马列毛邓
全部专业
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目中文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
具有1kHz脉冲重复率的深紫外单板印刷激光器
作者姓名:
文力
摘 要:
具有1kHz脉冲重复率的深紫外单板印刷激光器德国LambdaPhysik公司已研制出输出功率为30W的KrF小型准分子激光器。它可以1kHz脉冲重复率稳定工作。该公司的管理合伙人BirkBagting在美国加州举行的SPIE微型平板印刷术会议上介绍了...
本文献已被
CNKI
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号