基于角差法面形测量装置的测角误差研究 |
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作者姓名: | 陈海平 李佳斌 刘长春 熊召 周海 袁晓东 郑万国 |
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作者单位: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;西南科技大学计算机科学与技术学院; |
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摘 要: | 针对已有的角差法面形检测原理验证装置,分析采用相对测角法测量反射镜表面采样点的斜率并重构面形的测量方式中测角误差的传递方式。通过Matlab软件建立该传递方式的分析模型,并分析测角稳定性误差对面形测量的影响。实验证明该仿真分析的结果可靠有效。
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关 键 词: | 测量 大口径反射镜 面形测量 角差法 相对测量 面形误差 |
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