基于迭代算法的两平板互检求解方法 |
| |
引用本文: | 高波,李强,刘昂,何宇航,柴立群.基于迭代算法的两平板互检求解方法[J].光学学报,2014(12). |
| |
作者姓名: | 高波 李强 刘昂 何宇航 柴立群 |
| |
作者单位: | 成都精密光学工程研究中心; |
| |
基金项目: | 中国工程物理研究院资助项目(GFZX02080201.1) |
| |
摘 要: | 提出了一种基于两平板绝对检验的迭代面形恢复算法。算法基于两平板互检方法,通过分别翻转和旋转其中一块平板,获得4次两两测量结果。对测量得到的4个结果数据进行翻转和旋转逆操作,直接推导出三个面形与测量结果及相互之间的关系公式。设置初始面形,逐次迭代逼近4次测量结果。实验表明,该方法仅需要50次以内迭代,即可得到偏差小于0.1nm均方根值的绝对面形。详细分析了实验过程中的各项误差来源,并对每项误差进行了定量计算,获得总的测量误差为1.417nm。
|
关 键 词: | 测量 绝对检测 两平板互检 迭代算法 |
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|