| 热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针 |
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| 引用本文： | 徐凯,潘石,吴世法,孙伟,李银丽.热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针[J].物理学报,2003,52(5):1190-1195. |
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| 作者姓名： | 徐凯 潘石 吴世法 孙伟 李银丽 |
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| 作者单位： | 大连理工大学物理系，大连 116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号：60007011，30270367)、国家科技部和中国分析测试协会仪器功能开发基金(批准号：GN-99-15)、教育部博士点基金(批准号：20020141018)资助的课题. |
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| 摘 要： | 提出了原子力/光子扫描隧道显微镜(AF/PSTM)系统的关键部分——双功能弯曲光纤探针的制作方法.采用热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出AF/PSTM弯曲光纤探针，弯曲角度约为150°，尖端曲率半径优于100nm，锥角范围为60°—90°.将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的AF/PSTM系统上，同时获得了样品的光学与形貌图像，实现了图像分解.
关键词：
原子力/光子扫描隧道显微镜
光纤探针
热拉伸
化学腐蚀
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| 关 键 词： | 原子力/光子扫描隧道显微镜 光纤探针 热拉伸 化学腐蚀 |
| 文章编号： | 1000-3290/2003/52(05)1190-06 |
| 收稿时间： | 8/7/2002 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 9/9/2002 12:00:00 AM |
Fabrication of bend optical fibre probes by heated pulling combined with chemica l ething |
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| Xu Kai,Pan Shi,Wu Shi-F,Sun Wei and Li Yin-Li.Fabrication of bend optical fibre probes by heated pulling combined with chemica l ething[J].Acta Physica Sinica,2003,52(5):1190-1195. |
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| Authors: | Xu Kai Pan Shi Wu Shi-F Sun Wei and Li Yin-Li |
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| Abstract: | In this paper,a fabrication method for the bi-functional bend optical fiber probe which is the key element of atomic force/photon scanning tunnel microscope (AF/PSTM)system,is described.The heated pulling combined with dynamic/static two-s teps chemical etching method is proposed and developed.Using this method,we have made the AF/PSTM bend optical fibre probe.The bend angle of the probe is about 150 degrees;the radius of curvature at the top end is better than 100nm;the cone angle varies from 60 to 90 degrees.The bi-functional bend optical fiber probe i s used in our newly developed AF/PSTM system.The optical and topographic images are obtained simultaneously and the image separation is realized. |
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| Keywords: | AF/PSTM optical fiber probe heated pulling chemical etching |
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