| 稀释气体Ar对金刚石薄膜沉积质量的影响 |
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| 引用本文： | 张伟,赵业权,高军. 稀释气体Ar对金刚石薄膜沉积质量的影响[J]. 人工晶体学报, 1999, 28(4): 364-367 |
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| 作者姓名： | 张伟 赵业权 高军 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学航天学院,哈尔滨,150001;中国空间技术研究院508所,北京,100076 |
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| 摘 要： | 本文探讨了在燃烧焰法沉积金刚石薄膜过程中,稀释气体Ar对沉积质量的影响.发现在成膜过程中适当量的Ar起到增大内焰体积、降低沉积速率和提高晶型质量的作用.文中分析了其原因,并实现了利用Ar来控制高质量金刚石薄膜的生长.
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| 关 键 词： | 燃烧焰法 金刚石薄膜 稀释气体, |
Effect of Dilute Ar Gas on CVD Diamond Films Quality |
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| Zhang Wei,Zhao Yequan,Gao Jun. Effect of Dilute Ar Gas on CVD Diamond Films Quality[J]. Journal of Synthetic Crystals, 1999, 28(4): 364-367 |
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| Authors: | Zhang Wei Zhao Yequan Gao Jun |
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