| 二次离子质谱分析技术及应用研究 |
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| 引用本文： | 尹会听,王洁.二次离子质谱分析技术及应用研究[J].光谱实验室,2008,25(2):180-184. |
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| 作者姓名： | 尹会听 王洁 |
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| 作者单位： | 浙江海洋学院物理实验中心,浙江省舟山市定海区海院路18号,316000 |
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| 摘 要： | 二次离子质谱(SIMS)是离子质谱学的一个分支,也是表面分析的有利工具。该方法能检测出微小区域内的微量成分,绝对检出限10-13—10-19g、相对检出限ppm—ppb;具有能进行杂质深度剖析和各种元素在微区范围内同位素丰度比的测量。结合IMS-6f型二次离子质谱仪器,本文对SIMS仪器和技术应用进行了综述。
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| 关 键 词： | 二次离子质谱(SIMS) IMS-6f型 |
| 文章编号： | 1004-8138(2008)02-0180-05 |
| 修稿时间： | 2007年12月2日 |
SIMS Analysis Technology and the Applied Research |
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| YIN Hui-Ting,WANG Jie.SIMS Analysis Technology and the Applied Research[J].Chinese Journal of Spectroscopy Laboratory,2008,25(2):180-184. |
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| Authors: | YIN Hui-Ting WANG Jie |
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