| 气相传输平衡法在(11-20)面蓝宝石上制备γ铝酸锂膜 |
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| 作者姓名： | 刘世良 周圣明 李抒智 王银珍 徐军 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 基金项目： | 中国科学院2003年度“引进国外杰出人才”计划资助课题 |
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| 摘 要： | 为了寻找可能替代蓝宝石作为氮化镓外延的新型衬底,通过48 h的气相传输平衡,分别在1000℃、1030℃、1050℃、1070℃和1100℃制备了一层单相多晶的γ铝酸锂膜。X射线衍射和扫描电镜分别用于表征膜的物相、取向和表面形貌。结果显示,γ铝酸锂择优取向的好坏取决于气相平衡传输温度,在1050℃制备的γ铝酸锂具有高度的[100]择优取向;在γ铝酸锂(001)面上的双轴拉应力可能有助于[100]择优取向的形成;γ铝酸锂晶粒表面裂纹的方向一致性与其择优取向紧密相关。上述结果表明在合适的工艺条件下,气相传输平衡法制备的γ铝酸锂/蓝宝石可能成为一种很有前景且适合(1-100)面氮化镓生长的复合衬底。
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| 关 键 词： | 薄膜光学 复合衬底 气相传输平衡 γ铝酸锂 |
| 文章编号： | 0253-2239（2006）05-0773-4 |
| 收稿时间： | 2005-04-23 |
| 修稿时间： | 2005-09-12 |
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