X射线萤光光谱分析基本参数法测定薄膜的组分与厚度的程序

我们按照Laguitton等对薄膜x射线萤光光谱分析(XRFA)提出的基本参数方程,用BASIC语言编制了薄膜的组成与厚度同时测定的ATFFPM程序。由于方程考虑了次级增强效应,故程序能适用各种不同厚度的薄膜组分和厚度的测定(即厚度小于线性厚度及介于线性厚度与临界厚度之间者)。标准可任意选择纯元素薄膜、纯元素块样、多元素薄膜或块样。在求浓度迭代过程中使用线性近似方程求浓度,单层交叉迭代浓度与厚度,因此程序具有使用灵活,计算方便等特点。