| 大行程位移台干涉测距系统的误差补偿 |
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| 引用本文： | 王雨萌,杨帆,谌庆荣,余斯洋,张茜,孙思,严伟.大行程位移台干涉测距系统的误差补偿[J].半导体光电,2024,45(2):286-294. |
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| 作者姓名： | 王雨萌 杨帆 谌庆荣 余斯洋 张茜 孙思 严伟 |
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| 作者单位： | 中国科学院光场调控科学技术全国重点实验室, 成都 610209;中国科学院光电技术研究所, 成都 610209;中国科学院大学, 北京 100049 |
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| 基金项目： | 四川省重点研发项目(2022YFG0223)；中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20200060)；中国科学院特别研究助理项目(YA23K067).通信作者:严伟 |
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| 摘 要： | 双频激光干涉仪作为常用的精密光学非接触式测量设备，具有精度高、抗干扰能力强、灵活性好等优点。然而环境温度变化、机械振动等因素可能会影响其测量结果的准确性，并且影响程度会随着测量光程的增加而增大。针对基于双频激光干涉仪的大行程位移台测距系统，首先研究了位移台测距系统的测量原理，然后针对系统存在的各项误差进行了分析和补偿，最后，对系统进行综合误差补偿实验，短时间补偿量达到10-8 m量级，且时间越长补偿效果越好。该方法较现有的误差补偿方法更为完整，补偿量更大。
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| 关 键 词： | 激光干涉测量 误差补偿 仪器误差 安装误差 环境误差 |
| 收稿时间： | 2023/12/12 0:00:00 |
Error Compensation of Long Stroke Displacement Instrument Interference Ranging System |
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| WANG Yumeng,YANG Fan,CHEN Qingrong,YU Siyang,ZHANG Xi,SUN Si,YAN Wei.Error Compensation of Long Stroke Displacement Instrument Interference Ranging System[J].Semiconductor Optoelectronics,2024,45(2):286-294. |
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| Authors: | WANG Yumeng YANG Fan CHEN Qingrong YU Siyang ZHANG Xi SUN Si YAN Wei |
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| Institution: | National Key Lab.of Optical Field Manipulation Science and Technol., Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, CHN;Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, CHN;University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, CHN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser interferometry error compensation instrumental error installation error environmental error |
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