| SOI梯形大截面单模脊形波导的研制 |
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| 引用本文： | 赵策洲,刘恩科.SOI梯形大截面单模脊形波导的研制[J].光学学报,1994,14(7):83-784. |
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| 作者姓名： | 赵策洲 刘恩科 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电子工程系，西安电子科技大学微电子所 |
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| 基金项目： | 国家863基金，国家教委博士点基金 |
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| 摘 要： | 报道了硅片直接键合ＳＯＩ单模梯形大截面脊形波导的研制，对于小长为１．３μｍ的光这种脊形波导的传输损耗小于０．８５ｄＢ／ｃｍ。
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| 关 键 词： | SOI 脊形波导 集成光学 制备 |
| 收稿时间： | 1994/2/23 |
Fabrication of SOI Single-Mode Rib Wavegulde with Large Trapezoidal Cross-Section |
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| Zhao Cezhou, Liu Enke, Li Ouozheng.Fabrication of SOI Single-Mode Rib Wavegulde with Large Trapezoidal Cross-Section[J].Acta Optica Sinica,1994,14(7):83-784. |
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| Authors: | Zhao Cezhou Liu Enke Li Ouozheng |
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| Abstract: | A SOI (silicon-on- insulator ) single- mode rib waveguide with large trapezoidal cross-section formed by SDB (silicon wafers direct bonding) process has been fabricated. And the SDB SOI rib waveguide losses are below 0.85 dB/cm by measurements at a wavelength of 1.3 μm. |
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| Keywords: | SOI rib waveguide integrated optics |
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