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原子层沉积金属氧化物缓冲层制备高性能大面积钙钛矿太阳电池
引用本文:瞿子涵,赵洋,马飞,游经碧.原子层沉积金属氧化物缓冲层制备高性能大面积钙钛矿太阳电池[J].物理学报,2024(9):323-331.
作者姓名:瞿子涵  赵洋  马飞  游经碧
作者单位:1. 中国科学院半导体研究所,半导体物理实验室;2. 中国科学院大学,材料科学与光电工程中心
基金项目:国家重点研发计划(批准号:2020YFB1506400)资助的课题~~;
摘    要:研制具有较大活性面积的钙钛矿太阳电池对领域面向产业化的发展具有重要意义.当前,大面积钙钛矿太阳电池的性能与小面积钙钛矿太阳电池之间仍存在较大差距.本文提出一种在透明导电薄膜衬底上预先原子层沉积TiO2薄层的策略,有效避免了衬底局部突起与钙钛矿吸光层直接接触导致的漏电现象,提升了小面积器件制备工艺的重复一致性.改善的电子输运和光管理过程也提高了小面积器件的效率.更重要的是,本文基于原子层沉积的TiO2开展了0.5 cm2大面积钙钛矿太阳电池的研究,通过优化TiO2层的厚度,研制出光电转换效率高达24.8%的冠军器件(第三方认证效率24.65%),器件的制备工艺也表现出较好的重复性.此外,原子层沉积了TiO2缓冲层的电池器件在氮气氛围下存储1500 h后仍然能够保留初始性能的95%以上.总之,在粗糙衬底上预先原子层沉积TiO2薄层可以有效抑制局部漏电通道的产生,有利于制备高性能的大面积钙钛矿太阳电池.

关 键 词:原子层沉积  金属氧化物  大面积  钙钛矿太阳电池
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