Bestimmung von Methylchlorsilanen in Chlorsilanen mit Hilfe eines Systems Gas-Chromatograph und Massenspektrometer期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

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Bestimmung von Methylchlorsilanen in Chlorsilanen mit Hilfe eines Systems Gas-Chromatograph und Massenspektrometer

Authors:	H J Rath und J Wimmer

Institution:	(1) Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, Wacker-Chemitronic, Postfach 11 40, D-8263 Burghausen

Abstract:	Zusammenfassung Die Verbindungen (CH₃)₂SiHCl, CH₃SiHCl₂ und (CH₃)₃SiCl wurden in SiHCl₃/SiCl₄-Gemischen gas-chromatographisch analysiert, wobei ein Massenspektrometer mit fester Masseneinstellung als Detektor eingesetzt wurde. Die Nachweisgrenze liegt bei ca. 1 Gew.-ppm für diese Verbindungen. Determination of methylchlorosilanes in chlorsilanes with a gas-chromatograph/ mass spectrometer system Summary The compounds (CH₃)₂SiHCl, CH₃SiHCl₂ and (CH₃)₃SiCl were analyzed in SiHCl₃/SiCl₄ mixtures by gas chromatography using a mass spectrometer being focused on definite peaks as detector. The detection limit was found to be about 1 ppm (wt) of these compounds.

Keywords:	Best von Dimethylchlorsilan Methyldichlorsilan und Trimethylchlorsilan in Chlorsilanen Chromatographie Gas/Massenspektrometrie feste Masseneinstellung ppm-Gebiet
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