新型大功率LD非注入区窗口结构研究 |
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引用本文: | 张松,刘素娟,崔碧峰,李建军,计伟,陈京湘,王晓玲,苏道军,李佳莼.新型大功率LD非注入区窗口结构研究[J].半导体光电,2014,35(1):26-29. |
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作者姓名: | 张松 刘素娟 崔碧峰 李建军 计伟 陈京湘 王晓玲 苏道军 李佳莼 |
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作者单位: | 国家自然科学基金项目(611006028).;国家自然科学基金项目(611006028).;国家自然科学基金项目(611006028).;国家自然科学基金项目(611006028).;国家自然科学基金项目(611006028).;国家自然科学基金项目(611006028).;国家自然科学基金项目(611006028).;国家自然科学基金项目(611006028).;国家自然科学基金项目(611006028). |
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基金项目: | 国家自然科学基金项目(611006028). |
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摘 要: | 提出了一种基于腔面非注入区的新型窗口结构,通过腐蚀高掺杂欧姆接触层,在腔面附近引入电流非注入区,限制载流子注入腔面,减少载流子在腔面处的非辐射复合,提高了激光器腔面的光学灾变性损伤(COD)阈值。同时,引入脊型波导结构,降低了光束的水平发散角。采用该结构制作的器件在功率达到22W时仍未出现COD现象,而无腔面非注入区结构的器件输出功率达到18W时腔面发生COD。同时,采用该结构制作的器件在工作电流为12A时其光束的水平发散角约为10°,而常规电流非注入区结构的器件在相同的工作电流下其光束水平发散角约为15°。
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关 键 词: | 电流非注入区 脊型波导 光学灾变性损伤 发散角 |
收稿时间: | 2013/7/10 |
A Novel Structure of Non-injection Regions of High-power Laser Diodes |
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Abstract: | |
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Keywords: | non-injection regions ridge waveguide catastrophic optical damage (COD) divergence angle |
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