| 可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究 |
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| 引用本文： | 蒋天罡,李 岩,王 昕,张书练.可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究[J].激光与红外,2005,35(7):518-520. |
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| 作者姓名： | 蒋天罡 李 岩 王 昕 张书练 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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| 摘 要： | 文章在分析台阶高度测量现状和背景的基础上,着重介绍了用半导体激光器实现台阶
高度的绝对干涉测量方案,提出以可调谐半导体激光器作为光源,采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量,并详细分析了本方案的原理、误差。
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| 关 键 词： | 可调合成波长链 台阶高度 可调谐半导体激光器 绝对干? |
| 文章编号： | 1001-5078（2005）07-0518-03 |
| 收稿时间： | 2004-12-23 |
| 修稿时间： | 2004-12-232005-02-25 |
Step Height Measurement with Tunable Diode Laser |
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| JIANG Tian-gang,LI Yan,WANG Xin,ZHANG Shu-lian.Step Height Measurement with Tunable Diode Laser[J].Laser & Infrared,2005,35(7):518-520. |
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| Authors: | JIANG Tian-gang LI Yan WANG Xin ZHANG Shu-lian |
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| Abstract: | In this paper, several non-contact optical methods of measurement of step height are introduced in brief, and the absolute distance interferometry with diode laser is emphasized hereinto. We conceive a CSWC ADI system with tunable diode laser to measure the step height in nanometer scale, and analyze the theoretic uncertainty of the experiment. |
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| Keywords: | changeable synthetic wavelength chain (CSWC) step height tunable diode laser absolute distance interferometry (ADI) |
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