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单晶硅微型马达的试制
引用本文：铃木一健,高晓萍.单晶硅微型马达的试制[J].光机情报,1992,9(2):27-32.
作者姓名：铃木一健  高晓萍
摘    要：
关 键 词：单晶硅  微型马达  试制  电机
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