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| 适于MEMS加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器 | |
| 作者单位： | 北京大学微电子研究院 |
| 摘 要： | 提出了一种适于MEMS电容加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器,带宽调节范围为100Hz～8kHz。信号频率低于500Hz时选用开关电容低通滤波器,高于500Hz的信号则由连续时间低通滤波器来处理。该低通滤波器采用1.2μm的2P2M的N-阱CMOS工艺实现。设计中分析并解决了因时钟信号引起的制约开关性能的因素:优化的开关时序消除了电荷注入引起的非线性;时钟馈通敏感节点增加虚拟开关抵消了耦合电荷;高PSRR共源共栅折叠式差分输入结构,有效地抑制了来自电源的干扰,改善了电路的性能。 |
| 关 键 词： | MEMS 电容加速度计 读出电路 低通滤波器 CMOS |
A Low Pass Filter with Adjustable Bandwidth for MEMS Capacitive Accelerometer Readout Circuit |
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| Authors: | CHEN Jianghua XIANG Bin MO Bangxian WANG Zhanfei NI Xuewen |
| Institution: | CHEN Jianghua 1) XIANG Bin MO Bangxian WANG Zhanfei NI Xuewen |
| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS capacitive accelerometer readout circuit low-pass filter CMOS |
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