首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     检索      

非接触式光刻中的微透镜阵列系统
引用本文:高应俊,崔崧,等.非接触式光刻中的微透镜阵列系统[J].光子学报,2000,29(Z1):83-86.
作者姓名:高应俊  崔崧
摘    要:本文介绍一种供非接触式光刻使用的由三片微透镜陈阵叠合成1:1成像多孔径微小光学光刻曝光系统。针对大面积光刻,可以获得良好的分辨率和较大的焦深。本文还介绍了这种微透镜阵列的制作方法。

关 键 词:微透镜阵列系统  光刻曝光成像系统  分辨率  焦深
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号