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非接触式光刻中的微透镜阵列系统
引用本文:
高应俊,崔崧,等.非接触式光刻中的微透镜阵列系统[J].光子学报,2000,29(Z1):83-86.
作者姓名:
高应俊
崔崧
摘 要:
本文介绍一种供非接触式光刻使用的由三片微透镜陈阵叠合成1:1成像多孔径微小光学光刻曝光系统。针对大面积光刻,可以获得良好的分辨率和较大的焦深。本文还介绍了这种微透镜阵列的制作方法。
关 键 词:
微透镜阵列系统
光刻曝光成像系统
分辨率
焦深
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