| 衬底温度对磁控溅射法制备的Ag/AZO绒面背反电极性能的影响 |
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| 引用本文： | 王春雷,王超,毛艳丽. 衬底温度对磁控溅射法制备的Ag/AZO绒面背反电极性能的影响[J]. 光子学报, 2013, 42(7) |
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| 作者姓名： | 王春雷 王超 毛艳丽 |
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| 作者单位： | 河南大学物理与电子学院河南省光伏材料重点实验室,河南开封,475004 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，河南省省院科技合作项目，河南省教育厅自然科学研究项目 |
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| 摘 要： | 通过优化薄膜硅基太阳能电池的背反电极,使背反电极表面出现均匀的类金字塔结构,能够增大入射光在结区的有效光程,提高光子的捕获率,进而会提高薄膜硅基太阳能电池的光电转换效率.本文采用磁控溅射技术在载玻片上制得Ag/AZO(ZnO∶Al)导电薄膜.在控制其它溅射参量为最优化的情况下,研究了衬底温度对Ag/AZO导电薄膜光电性能及其表面形貌的影响.研究表明:随着衬底温度的增加,薄膜的雾度在可见光范围内先增大后减小；当衬底温度为500℃时,雾度取得最大值,在可见光范围内平均达到了95％以上；电阻率随着衬底温度的增加逐渐增大,且衬底温度超过500℃时电阻率急剧增大.在综合考虑其光电性能的情况下,实验得到当衬底温度为500℃时,所获得的叠层薄膜表面雾度值最好且电阻率很小,这将有助于改善太阳能电池的性能.
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| 关 键 词： | Ag/AZO导电薄膜 磁控溅射 光电特性 雾度 |
Effect of Substrate Temperature on the Properties of Textured Ag/AZO Back Electrodes Prepared by Magnetron Sputtering |
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| WANG Chun-lei , WANG Chao , MAO Yan-li. Effect of Substrate Temperature on the Properties of Textured Ag/AZO Back Electrodes Prepared by Magnetron Sputtering[J]. Acta Photonica Sinica, 2013, 42(7) |
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| Authors: | WANG Chun-lei WANG Chao MAO Yan-li |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ag/AZO conductive films Magnetron sputtering The photovoltaic properties Haze factor |
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