| 采用全息光栅作分束器的斜入射干涉仪 |
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| 引用本文： | 曹明 王雅黎. 采用全息光栅作分束器的斜入射干涉仪[J]. 光学学报, 1990, 10(11): 99-1004 |
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| 作者姓名： | 曹明 王雅黎 |
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| 作者单位： | 中国计量学院光学教研室 杭州(曹明)，中国科学院长春光学精密机械研究所 应用光学国家重点实验室(王雅黎)，中国科学院长春光学精密机械研究所 应用光学国家重点实验室(刘瑞祥) |
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| 摘 要： | 本文探讨了一种用全息透射式衍射光栅作分束器的斜入射干涉方法和装置,该装置主要用于非光学表面的粗糙度检测,整个装置结构简单,易于配置且具有很好的稳定性.
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| 关 键 词： | 全息 光栅 分束器 斜入射干涉仪 |
| 收稿时间： | 1989-08-07 |
Oblique-incidence interferometer using holographic gratings as beam-splitter |
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| CAO MING,WANG YALI AND LIU RUIXTANG. Oblique-incidence interferometer using holographic gratings as beam-splitter[J]. Acta Optica Sinica, 1990, 10(11): 99-1004 |
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| Authors: | CAO MING WANG YALI AND LIU RUIXTANG |
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| Abstract: | A grazing interferometry, using holographic diffraction, gratings as beam-splitter, for measuring the flatness of non-optical surfaces is described. The Interferometer is relatively easy to set up and stable once aligned. |
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| Keywords: | oblique in idenoe interferometer roughness of surfaoe. |
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