| 石墨烯晶圆的制备：从高品质到规模化 |
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| 作者姓名： | 姜蓓 孙靖宇 刘忠范 |
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| 作者单位： | 1 北京大学纳米化学研究中心,北京分子科学国家研究中心,北京大学化学与分子工程学院,北京 1008712 北京石墨烯研究院,北京 1000953 苏州大学能源学院,苏州大学能源与材料创新研究院,苏州大学-北京石墨烯研究院协同创新中心,江苏 苏州 215006 |
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| 基金项目： | the National Basic Research Program of China(2016YFA0200103);the National Natural Science Foundation of China(61527814);the National Natural Science Foundation of China(51702225);the Beijing National Laboratory for Molecular Sciences(BNLMS-CXTD-202001);the Beijing Municipal Science and Technology Planning Project(Z191100000819004) |
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| 摘 要： | 石墨烯晶圆是引领未来的战略材料,在集成电路、微机电系统和传感器等领域具有广阔的应用前景。实现石墨烯晶圆广泛应用的前提是高品质材料的规模化制备。可控性高、工艺兼容性强、成本低的化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)法,是高品质石墨烯晶圆规模化制备的首选方法。本文将综述石墨烯晶圆的CVD制备进展：首先探讨石墨烯晶圆的制备需求,从实用牵引和应用场景出发,提出石墨烯晶圆的制备品质等级;随后重点介绍石墨烯的晶圆级制备方法和石墨烯晶圆材料的规模化制备技术;最后,对石墨烯晶圆可行的制备路线进行总结,并展望未来可能的发展方向。
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| 关 键 词： | 石墨烯晶圆 化学气相沉积 高品质 规模化制备 |
| 收稿时间： | 2020-07-25 |
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