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| 集成光学 光波导材料与制备 | |
| 摘 要： | TN252 2006065160在高阻硅村底上制备低微波损耗的共面波导=Low-mi- crowave loss coplanar waveguides fabricated on high-resis- tivity silicon substrate[刊,英]/杨华(中科院半导体所光电子研究发展中心．北京(100083)),朱洪亮…//半导体学报．—2006．27(1)．—1-4分别在普通的低阻硅衬底、带有3/μm厚氧化硅介质层的低阻硅衬底和高阻硅衬底上设计并制备了微波传输 |
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