| 在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪 |
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| 作者姓名： | 梁嵘 李达成 曹芒 赵洪志 武勇军 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084;清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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| 摘 要： | 一种新型的、用于在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。该仪器体积小（２５ｃｍ×２０ｃｍ×１０ｃｍ）、抗外界环境干扰能力强。仪器以稳频半导体激光器作为光源。共光路设计,使测量光和参考光沿同一路径入射到被测表面上。计大数和测小数周期相结合的外差信号处理方法,实现了大的动态测量范围和很高的测量分辩率。同时还采用了全反射临界角法进行自动聚焦。该仪器的纵向和横向分辨率分别为０．３９ｎｍ和０．７３μｍ;自动聚焦范围为±０．５ｍｍ,在焦点±２５μｍ范围内,聚焦精度为１μｍ;８０分钟内整机稳定性：３σ＝１．９５ｎｍ。
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| 关 键 词： | 表面粗糙度 在线检测 共光路 外差干涉仪 自动聚焦 |
| 收稿时间： | 1998-03-09 |
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