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| 金刚石颗粒双阴极等离子溅射铬镀层显微结构研究 | |
| 作者姓名： | 王 超 揭晓华 刘 烨 徐 江 陶洪亮 魏 菊 |
| 作者单位： | 广东工业大学材料与能源学院;南京航空航天大学材料科学与技术学院;广东奔朗新材料股份有限公司; |
| 基金项目： | 粤港招标项目(2011243);广东省教育部产学研结合项目(2011B090400178) |
| 摘 要： | 通过FIB-SEM观察了镀覆温度为850℃双阴极等离子溅射镀铬金刚石的表面形貌;利用TEM、XPS分析了镀层厚度、微观结构及表层元素价态;在光学显微镜下观察酸洗后金刚石的镀层变化情况。结果表明,经双阴极等离子溅射镀覆后的金刚石在其表层形成了厚度约为500 nm的柱状结构镀层,镀层晶粒尺寸约为10 nm;酸洗后镀层仅出现轻微脱落,说明金刚石铬镀层十分致密。 |
| 关 键 词： | 双阴极等离子溅射 镀层 金刚石 |
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