| 工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响 |
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| 引用本文： | 付利刚,霍承松,张福昌,魏乃光,王学武,吕反修. 工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响[J]. 人工晶体学报, 2010, 39(6): 1596-1600 |
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| 作者姓名： | 付利刚 霍承松 张福昌 魏乃光 王学武 吕反修 |
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| 作者单位： | 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088;北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088;北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 |
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| 摘 要： | 本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响.实验表明,适当的提高沉积温度(650 ℃)和降低沉积压力(1.5×104 Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起拱;由于表面阴影和钉扎效应,相对粗糙的衬底表面有更好的抑制起拱效果.
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| 关 键 词： | 起拱 沉积温度 沉积压力 衬底表面粗糙度, |
Effect of Technical Parameters on Bowing of CVDZnS |
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| FU Li-gang,HUO Cheng-song,ZHANG Fu-chang,WEI Nai-guang,WANG Xue-wu,LV Fan-xiu. Effect of Technical Parameters on Bowing of CVDZnS[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2010, 39(6): 1596-1600 |
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| Authors: | FU Li-gang HUO Cheng-song ZHANG Fu-chang WEI Nai-guang WANG Xue-wu LV Fan-xiu |
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