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工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响
引用本文:付利刚,霍承松,张福昌,魏乃光,王学武,吕反修.工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响[J].人工晶体学报,2010,39(6):1596-1600.
作者姓名:付利刚  霍承松  张福昌  魏乃光  王学武  吕反修
作者单位:北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088;北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京,100088;北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083
摘    要:本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响.实验表明,适当的提高沉积温度(650 ℃)和降低沉积压力(1.5×104 Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起拱;由于表面阴影和钉扎效应,相对粗糙的衬底表面有更好的抑制起拱效果.

关 键 词:起拱  沉积温度  沉积压力  衬底表面粗糙度  

Effect of Technical Parameters on Bowing of CVDZnS
FU Li-gang,HUO Cheng-song,ZHANG Fu-chang,WEI Nai-guang,WANG Xue-wu,LV Fan-xiu.Effect of Technical Parameters on Bowing of CVDZnS[J].Journal of Synthetic Crystals,2010,39(6):1596-1600.
Authors:FU Li-gang  HUO Cheng-song  ZHANG Fu-chang  WEI Nai-guang  WANG Xue-wu  LV Fan-xiu
Abstract:
Keywords:
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