| FIB-SEM双束系统在红外焦平面探测器研制中的应用 |
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| 引用本文： | 李乾,黄婷,折伟林,王丹,邢伟荣.FIB-SEM双束系统在红外焦平面探测器研制中的应用[J].红外,2022,43(2):34-39. |
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| 作者姓名： | 李乾 黄婷 折伟林 王丹 邢伟荣 |
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| 作者单位： | 华北光电技术研究所,北京100015 |
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| 摘 要： | 聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam Scanning Electron Micro-scope,FIB-SEM)双束系统结合了扫描电子显微镜与聚焦离子束系统的优势.基于该系统的高分辨率、原位加工及观测的特点,研究了它在缺陷与像元解剖分析、透射电镜样品制备以及电路修复等方面的应用.详细介绍了用FI...
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| 关 键 词： | 红外焦平面探测器 聚焦离子束扫描电子显微镜 电路修复 |
| 收稿时间： | 2021/10/18 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2021/10/22 0:00:00 |
Applications of the FIB-SEM Dual Beam System in the Development of Infrared Focal Plane Detector |
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| LI Qian,Huang Ting,SHE Wei-lin,Wang Dan and Xing Wei-rong.Applications of the FIB-SEM Dual Beam System in the Development of Infrared Focal Plane Detector[J].Infrared,2022,43(2):34-39. |
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| Authors: | LI Qian Huang Ting SHE Wei-lin Wang Dan and Xing Wei-rong |
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| Institution: | North China Research Institute of Electro-optics,North China Research Institute of Electro-optics,North China Research Institute of Electro-optics,North China Research Institute of Electro-optics,North China Research Institute of Electro-optics |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | infrared focal plane detector FIB-SEM circuit repair |
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