| 双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作 |
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| 引用本文： | 李鑫,闫卫平,徐迎华,陈怡儒. 双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作[J]. 压电与声光, 2010, 32(4) |
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| 作者姓名： | 李鑫 闫卫平 徐迎华 陈怡儒 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,电子科学与技术学院,辽宁,大连,116023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 为了实现微流控芯片的小型化、集成化,设计并制作了一种可定量连续输送微量液体的无阀压电微泵.该微泵采用双腔并联式结构,利用微机电系统(MEMS)技术在硅基片上制作了具有扩散口/喷口无阀结构的出入水口,采用压电双晶片作为驱动部件,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜.测试结果表明,泵膜的厚度、工作频率和电压对微泵的输出流速均有明显的影响,在频率1100 Hz及电压80 V时,双腔体并联式无阀压电微泵的最大流速为210μL/min,约为相同结构单腔体微泵流速的1.5倍.
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| 关 键 词： | 双腔 无阀微泵 压电双晶片 聚二甲基硅氧烷(PDMS) |
Design and Fabrication of Valveless Piezoelectric Micropump in Parallel with Double Chambers Based on MEMS Technology |
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| LI Xin,YAN Weiping,XU Yinghua,CHEN Yiru. Design and Fabrication of Valveless Piezoelectric Micropump in Parallel with Double Chambers Based on MEMS Technology[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2010, 32(4) |
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| Authors: | LI Xin YAN Weiping XU Yinghua CHEN Yiru |
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