| 氮化镓基发光二极管产业化中的材料物理问题 |
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| 引用本文： | 周均铭,陈弘,贾海强. 氮化镓基发光二极管产业化中的材料物理问题[J]. 物理, 2002, 31(7): 450-452 |
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| 作者姓名： | 周均铭 陈弘 贾海强 |
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| 作者单位： | 周均铭（中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室,北京,100080） 陈弘（中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室,北京,100080） 贾海强（中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室,北京,100080） |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(课题编号:2002AA311182)资助项目 |
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| 摘 要： | 第三代半导体氮化镓化合物半导体已成为蓝光发光二极管的主流材料,国际上的产业化已成规模,国内也有多家处于中试阶段,由于氮化镓基材料中有如此多的问题没有解决,材料制备设备,器件工艺也极需改进及优化,这既给了中国科研人员及工程技术人员一个机遇,也使他们面临着严峻的挑战.
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| 关 键 词： | 氮化镓 发光二极管 产业化 材料物理 |
| 修稿时间： | 2002-04-15 |
MATERIAL PHYSICS PROBLEMS IN THE MASS PRODUCTION OF GaN BASED LED |
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