| 基于MEMS技术的射频移相器 |
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| 引用本文： | 张永华,丁桂甫,蒋振新,蔡炳初,沈民谊.基于MEMS技术的射频移相器[J].微细加工技术,2004(1):73-80. |
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| 作者姓名： | 张永华 丁桂甫 蒋振新 蔡炳初 沈民谊 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(10377009);微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助项目(51485020301JW0701);信息产业部微电子技术资助项目(41308050116) |
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| 摘 要： | 微波与毫米波移相器是通讯和雷达应用上相控阵天线的基本单元，MEMS技术的引入提供了一个在移相器设计中用最小损耗的开关来大量减少移相器插入损耗的方法，该方法可以降低器件的功耗，改善插入损耗、隔离度、频带宽度等性能。相比于GaAs移相器，基于MEMS开关的射频移相器，无论是开关线型、分布式或是反射型，都有很好的RF性能。
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| 关 键 词： | MEMS技术 射频移相器 微电子机械系统 开关 相控阵天线 插入损耗 RF性能 |
| 文章编号： | 1003-8213(2004)01-0073-08 |
| 修稿时间： | 2003年9月5日 |
MEMS-based RF Phase Shifters |
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| ZHANG Yong-hua,DING Gui-fu,JIANG Zhen-xin,CAI Bing-chu,SHEN Min-yi.MEMS-based RF Phase Shifters[J].Microfabrication Technology,2004(1):73-80. |
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| Authors: | ZHANG Yong-hua DING Gui-fu JIANG Zhen-xin CAI Bing-chu SHEN Min-yi |
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| Abstract: | Microwave and millimeter-wave phase shifters are essential components in phased-array antennas for telecommunications and radar applications. RF phase shifters based on MEMS switches have the advantages of wide bandwidth, low insertion loss,low power consumption and high isolation over the traditional phase shifters. Compared with GaAs phase shifters,they have better RF performances for all their types:switched-line,distributed and reflection phase shifters. |
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| Keywords: | micro electro-mechanical systems(MEMS) switches phase shifter microwave millimeter-wave |
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