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| 奇异的衍射极限 | |
| 引用本文： | 宋克非.奇异的衍射极限[J].光机电信息,1999,16(6):27-30. |
| 作者姓名： | 宋克非 |
| 摘 要： | 本文讨论了比经典Rayleigh或Marechal衍射极限还小的像差在景深(DOF)和临界尺寸(CD)控制方面引起的不可忽略的损失。 |
| 关 键 词： | 衍射极限 像差 景深 临界尺寸 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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