| 新型微通道散热器设计仿真 |
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| 引用本文： | 王艳, 丁桂甫, 张东梅, 顾东华,.新型微通道散热器设计仿真[J].电子器件,2007,30(1):63-66,71. |
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| 作者姓名： | 王艳 丁桂甫 张东梅 顾东华 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室,上海,200030 |
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| 摘 要： | 在传统的硅基微通道散热器原理基础上,通过采用高热导率的散热板,以及特殊的变截面微通道阵列,实现微型散热器工作流体的整体稳定流动和短程均匀散热工作模式.采用ANSYS通用有限元分析软件,给出了典型换热单元在参考流速1 m/s,温度283 K初始状态下的流速场和温度场,散热器可输运5×107 W/m2的热通量,总热阻低至0.0106℃/W.仿真结果初步验证了设计构想的合理性,散热器有望拥有良好工作特性.
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| 关 键 词： | MEMS器件 微通道散热器 有限元分析 数值传热学 |
| 文章编号： | 1005-9490（2007）01-0063-04 |
| 修稿时间： | 2006-03-03 |
Design and Simulation of a Novel Microchannel Heatsink |
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| WANG Yan,DING Gui-fu,ZHANG Dong-mei,GU Dong-hua.Design and Simulation of a Novel Microchannel Heatsink[J].Journal of Electron Devices,2007,30(1):63-66,71. |
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| Authors: | WANG Yan DING Gui-fu ZHANG Dong-mei GU Dong-hua |
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| Institution: | National Key Laboratory of Nano /Micro Fabrication Technology, Key Laboratory of Thin Film and micro f abrication of Ministry of Education, Institute of Micro and Nano Science and Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS divice microchannel heatsink finite element analysis Numerical heat tansfer |
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