低温等离子体及其在材料表面改性中的应用

 一、等离子体物理的发展历史概况17世纪初叶,Sir.WilliamGilbert引入了一些基本概念,这些概念至今还用在描述电和磁的现象。1745年,E.G.vonKleist发明了莱顿瓶,即一种最原始的电容器,用于储积大量电荷并获得高的静电电位。在18世纪50年代,BenjaminFranklin利用莱顿瓶完成了证实其电的单流体理论的试验,同时也证实了闪电是电的一种形式。也是由Franklin引入一正负极性的概念。在其最初的单流体理论中,正极性意味着正向电流过剩,而负极性则意味着该正向电流不足。19世纪期间,电子放电物理获得了很快进展。