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关子发展我国半导体设备制造业的思考

引用本文：	王勃华.关子发展我国半导体设备制造业的思考[J].集成电路应用,2003(8):1-5.

作者姓名：	王勃华

作者单位：	信息产业部电子信息产品管理公司

摘要：
关键词：	中国半导体设备制造业市场前景行业建设体制改革集成电路产业
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