| 非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜结构与磨擦摩损性能研究 |
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| 引用本文： | 周晖,温庆平,郝宏,谭立,王长胜,薛德胜.非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜结构与磨擦摩损性能研究[J].摩擦学学报,2006,26(2):183-187. |
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| 作者姓名： | 周晖 温庆平 郝宏 谭立 王长胜 薛德胜 |
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| 作者单位： | 兰州大学,磁学与磁性材料教育部重点实验室,甘肃,兰州,730000;兰州物理研究所,空间机械润滑中心,甘肃,兰州,730000;兰州物理研究所,空间机械润滑中心,甘肃,兰州,730000;兰州大学,磁学与磁性材料教育部重点实验室,甘肃,兰州,730000 |
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| 摘 要： | 采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球-盘摩擦磨损试验机上评价其在大气中的摩擦磨损性能.结果表明:不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜呈岛状生长模式,断面呈致密细柱状,结晶状态均为无定形态;薄膜的显微硬度随Ti含量增加而升高;MoS2-Ti复合薄膜在大气中的摩擦磨损性能优于MoS2薄膜,掺杂适当Ti可以使MoS2-Ti复合薄膜的摩擦曲线波动减小,耐磨寿命提高,在本试验研究范围内,含30%Ti复合薄膜的耐磨寿命最长,当Ti掺杂量达到50%时MoS2-Ti复合薄膜失去润滑性能.
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| 关 键 词： | 非平衡磁控溅射 MoS2-Ti复合薄膜 结构 摩擦磨损性能 |
| 文章编号： | 1004-0595（2006）02-0183-05 |
| 收稿时间： | 2005-08-29 |
| 修稿时间： | 2005-11-01 |
Study of Structural and Tribological Properties of MoS2-Ti Composite Coatings Deposited by Unbalanced Magnetron Sputter |
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| ZHOU Hui,WEN Qing-ping,HAO Hong,TAN Li,WANG Chang-sheng,XUE De-sheng.Study of Structural and Tribological Properties of MoS2-Ti Composite Coatings Deposited by Unbalanced Magnetron Sputter[J].Tribology,2006,26(2):183-187. |
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| Authors: | ZHOU Hui WEN Qing-ping HAO Hong TAN Li WANG Chang-sheng XUE De-sheng |
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| Institution: | 1. Key Lab for Magnetism and Magnetic Materials of MOE, Lanzhou University, Lanzhou 730000, China; 2. Lab for Space Apparatus Lubricating Technology, Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou 730000, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | unbalanced magnetron sputter MoS2-Ti composite coatings structure friction and wear behavier |
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