YBCO-SrTiO_3-YBCO多层薄膜超导线圈 |
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作者姓名: | 刘让蛟 曾祥辉 王世光 戴远东 |
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作者单位: | 北京大学物理系,北京大学物理系,北京大学物理系,北京大学物理系 北京,100871,北京,100871,北京,100871,北京,100871 |
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摘 要: | 采用射频磁控溅射在(100)SrTiO_3衬底上生长了 YBCO-SrTiO_3-YBCO 多层薄膜,并结合氩离子束刻蚀技术加工了线条宽10μm 共9匝的多层结构超导线圈,研究了总长约9.4mm宽10μm YBCO 线条的超导连通及超导连接和超导线条绝缘跨接的情况.线圈超导连通 T_c为82K,在77K 的 J_c 为5.4×10~4Acm~(-2),SrTiO_3绝缘层在77K 的电阻率为3.9×10~3Ωcm,基本可以满足薄膜磁通变换器中多匝输入线圈的工艺要求.
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