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| Nb/Al-AlO_x/Nb隧道结的制备 | |
| 引用本文： | 张永明,李元,杨森祖,吴培亨.Nb/Al-AlO_x/Nb隧道结的制备[J].物理学报,1988(5). |
| 作者姓名： | 张永明 李元 杨森祖 吴培亨 |
| 作者单位： | 南京大学信息物理系 (张永明，李元，杨森祖)，南京大学信息物理系(吴培亨) |
| 摘 要： | 本文报道了在射频磁控溅射装置上Nb/Al-AlO_x/Nb隧道结的制备工艺和所获得的结果。对SIS三层结构形成时基片的温度、势垒,以及电极形成方法等问题进行了讨论。 |
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