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变极距电容位移传感器的双频激励方法研究
引用本文:张立锋,俞红祥,沈孟锋. 变极距电容位移传感器的双频激励方法研究[J]. 电子元件与材料, 2015, 34(4): 26-31
作者姓名:张立锋  俞红祥  沈孟锋
作者单位:浙江师范大学运动检测与智能控制研究中心,浙江金华,321004
基金项目:国家自然科学基金项目资助(No.51105343);浙江省青年科学基金项目资助(No.LQ12E05004);浙江省新苗人才计划资助(No.2014R404081)
摘    要:针对变极距电容位移传感器提出了一种双频激励方法。同时采用低频、高频正弦电压源激励平板发射电极,通过电容耦合效应将极距变化转换为双频调幅信号,并通过高阻抗缓冲、带通滤波、精密整流电路获得双路位移调制电压信号。采用数字信号处理器(DSP)同步采集双路位移调制电压信号以及参考位移信号,对高、低频激励方式下的位移检测分辨率、纹波、动态响应速度等性能进行了对比分析。实验结果表明:双频激励时,通道间耦合作用较小,低频激励方式在位移分辨率、测量范围、线性度、抗干扰等指标上显著优于高频激励;高频激励在动态响应速度上具有明显优势。

关 键 词:双频激励;电容传感器;位移测量;振动检测;调制信号;DSP

Dual-frequency excitation for variable gap capacitive displacement transducer
ZHANG Lifeng , YU Hongxiang , SHEN Mengfeng. Dual-frequency excitation for variable gap capacitive displacement transducer[J]. Electronic Components & Materials, 2015, 34(4): 26-31
Authors:ZHANG Lifeng    YU Hongxiang    SHEN Mengfeng
Affiliation:ZHANG Lifeng;YU Hongxiang;SHEN Mengfeng;Institute of Motion Detection & Intelligent Control Research, Zhejiang Normal University;
Abstract:
Keywords:dual-frequency excitation  capacitance transducer  displacement measurement  vibration detection  modulated signal  DSP
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