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| 激光分子束外延氧化物薄膜机理研究 | |
| 引用本文： | 吕惠宾,杨国桢,陈凡,赵彤,周岳亮,陈正豪.激光分子束外延氧化物薄膜机理研究[J].中国科学A辑,2000,30(10):935-939. |
| 作者姓名： | 吕惠宾 杨国桢 陈凡 赵彤 周岳亮 陈正豪 |
| 作者单位： | (1)中国科学院物理研究所，中国科学院凝聚态物理中心，北京 100080 ,中国 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| 摘 要： | 实验结果表明外延结构复杂的氧化物薄膜，基片温度在600～650℃条件下，其表面原胞层的扩散时间是几十秒到上百秒.根据此特点，采用单原胞间歇式外延，用激光分子束外延制备原子尺度控制的高质量氧化物薄膜和超晶格材料. |
| 关 键 词： | 激光分子束外延 氧化物薄膜 机理 |
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