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| 8＇＇、12＇＇集成电路厂房洁净室设计探讨 | |
| 引用本文： | 秦学礼.8＇＇、12＇＇集成电路厂房洁净室设计探讨[J].洁净与空调技术,2004(3):45-50,34. |
| 作者姓名： | 秦学礼 |
| 摘 要： | 随着IC生产工艺技术的不断发展，对于洁净室生产环境及其它配套系统要求也相应更为严格，本文就8”、12”IC生产的洁净室设计中有关洁净室形式和送风方式、空气处理及温湿度保证措施，悬浮分子污染物(AMC)的控制，以及洁净室排烟等方面的设计方案，进行了多方案的综合分析和评价。 |
| 关 键 词： | 洁净室 厂房 送风方式 排烟 空气处理 温湿度 保证措施 IC 集成电路 AMC |
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