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半导体用高利用率长寿命溅射靶材的研制简

引用本文：	何金江,万小勇,周辰,李勇军,熊晓东,王兴权.半导体用高利用率长寿命溅射靶材的研制简[J].半导体技术,2014(1):71-77.

作者姓名：	何金江万小勇周辰李勇军熊晓东王兴权

摘要：
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