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| 真空沉积碳膜的制备及其性能 | |
| 引用本文： | 徐锦芬,方嘉宝.真空沉积碳膜的制备及其性能[J].摩擦学学报,1986,6(3). |
| 作者姓名： | 徐锦芬 方嘉宝 |
| 作者单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所 (徐锦芬)，中国科学院兰州化学物理研究所(方嘉宝) |
| 摘 要： | 本文是一篇文献综述,介绍了真空沉积类金刚石碳膜(DLC膜)、无定性碳膜(a-c膜)和石墨膜的几种制备方法及设备,以及这些膜的性能,特别着重地介绍了与摩擦学应用有关的性能。 |
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