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| 用于位移测量的激光装置 | |
| 摘 要： | <正> 柯克科学电子公司研制了一种应用于科研、精密工程、工业民用工程等方面的LM-10型激光测微器,该仪器可用于X—Y 位移测量和微调系统。该仪器的测量范围为2.5cm～500m(X—Y 方向位移),其测量精度为10μm。为了保持测量精确和长期稳定,该激光装置直接采用该公司稳定的锥形激光管。该装置由一个硅象限探测头和一个X—Y位移监测器所组成。位移监测器用来指示探测 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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