纳米器件制备的新方法--微接触印刷术

微接触印刷术是一内米器件制备的新方法，能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳人米－微米量级的精细结构，印制导电离子微电路，以及制作结三维结构微制品。该方法精确重复，工艺简单，对实验室条件要求也不高分子高，在微电子学、超微机械加工等超微器件制备中有很好的应用前景。