纳米器件制备的新方法--微接触印刷术 |
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引用本文: | 潘力佳,何平笙.纳米器件制备的新方法--微接触印刷术[J].化学通报,2000,63(12):12-17,48. |
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作者姓名: | 潘力佳 何平笙 |
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作者单位: | 中国科学技术大学高分子科学与工程系,合肥 |
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摘 要: | 微接触印刷术是一内米器件制备的新方法,能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳人米-微米量级的精细结构,印制导电离子微电路,以及制作结三维结构微制品。该方法精确重复,工艺简单,对实验室条件要求也不高分子高,在微电子学、超微机械加工等超微器件制备中有很好的应用前景。
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关 键 词: | 微接触印刷术 自组装置 PDMS 纳米器件 制备 |
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