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| MgF_2作为镁离子内扩散LiNbO_3单晶扩散源的研究 | |
| 引用本文： | 阙文修,姚熹.MgF_2作为镁离子内扩散LiNbO_3单晶扩散源的研究[J].物理学报,1996(1). |
| 作者姓名： | 阙文修 姚熹 |
| 作者单位： | 西安交通大学电子材料研究室 |
| 基金项目： | 西安交通大学精细功能电子材料与器件开放研究实验室基金 |
| 摘 要： | 利用ＭｇＦ_２作为扩散源进行镁离子内扩散ＬｉＮＯ_３单晶基片的研究．经电子探针显微镜分析表明，镁的扩散层镁离子浓度分布具有近似半抛物形和阶跃形分布，并得到镁的激活能为１０４ＫＪ／．Ｘ射线衍射分析发现，当镁离子内扩散超过一定程度时，在镁的扩散层出现具有ＬｉＮｂ_３Ｏ_８的物相结构，并发现该物相结构的出现与ＬｉＮＯ_３体内锂离子的外扩散和扩散表面氟离子的存在有关．由扫描电子显微镜观察到氟离子以ＬｉＦ的形式出现，并随着扩散程度的增大，挥发和脱离开扩散层表面． |
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